產品參數:
| 型號 | 
					TS-PL10 | 
			
| 
					真空腔尺寸 | 
				
					L200mm*W270mm*H200mm | 
			
| 材質 | 316不銹鋼 | 
| 
					電極 | 
				
					平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金 | 
			
| 
					電極尺寸 | 
				
					180mm *230mm(最大可處理產品尺寸) | 
			
| 
					頻率 | 
				
					40KHz | 
			
| 
					功率 | 
				
					0-1000W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。 | 
			
| 
					氣體控制 | 
				
					精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml 2路氣體 | 
			
| 
					真空度測量儀器 | 
				
					2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC) | 
			
| 
					控制方式 | 
				
					7寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式 | 
			
| 
					控制軟件功能 | 
				
					界面顯示實時工作狀態 | 
			
| 
					設備規格尺寸 | 
				
					長550mm*寬550mm*高600mm | 
			
產品特點:
1、該儀器實現了手動、自動兩種模式任意切換的工作方式。
2、該儀器實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗。
3、只需氣體作為耗材,使用成本低。
4、無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。
主要應用領域:
1、半導體元件、印刷線路板的清洗。
2、高分子材料表面修飾。
3、生物芯片、微流控芯片的清洗。
4、芯片、電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片等的清洗。
5、各種形狀的人工晶體、ATR元件、天然晶體和寶石的清洗。
