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等離子體的產(chǎn)生機(jī)理及其用途
等離子體技術(shù)基于一個(gè)簡(jiǎn)單的物理原理。如果獲得能量供應(yīng)，物質(zhì)的狀態(tài)將發(fā)生改變：由固態(tài)變成液態(tài)，再由液態(tài)變成氣態(tài)。如果再向氣體提供更多能量，氣體將發(fā)生電離，并進(jìn)入高能的等離子狀態(tài)，這就是物質(zhì)的第四種狀態(tài)。
等離子體的產(chǎn)生機(jī)理包括電離反應(yīng)、帶電粒子的傳輸以及電磁運(yùn)動(dòng)學(xué)等理論。等離子體的產(chǎn)生與氣化過(guò)程伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應(yīng)。等離子體中粒子的碰撞會(huì)產(chǎn)生活性組分。因?yàn)榈入x子體處理的目的是改性表面或在表面形成一層合成材料，因此在整個(gè)處理過(guò)程中，我們最關(guān)注的是等離子體與材料的相互作用以及形成最終反應(yīng)產(chǎn)物。
每個(gè)等離子體處理的工藝過(guò)程都會(huì)局限在一個(gè)多維參數(shù)的腔室中，這個(gè)腔室的大小決定了整個(gè)工藝的經(jīng)濟(jì)性、反應(yīng)質(zhì)量、反應(yīng)性能及其他參數(shù)，這些參數(shù)可以使處理過(guò)程具有競(jìng)爭(zhēng)性和工業(yè)應(yīng)用價(jià)值。腔室的操作受許多約束條件的限制，如處理過(guò)程受等離子體的種類(lèi)及反應(yīng)速率的限制，處理效率受電能轉(zhuǎn)化為等離子體密度方式的限制，反應(yīng)產(chǎn)量受處理過(guò)程中某種原材料的消耗所制約等。
在等離子體輔助制造工業(yè)中。等離子體一般具有下列用途：
（1）等離子體可以作為熱源。
（2）等離子體可以作為化學(xué)催化劑
（3）等離子體可以作為高能離子流和電子流源。
（4） 可以作為濺射粒子源。
在很多工藝中，隨處可見(jiàn)等離子體的這幾種基本特性，這就逐漸形成了以等離子體為處理手段的基礎(chǔ)制造業(yè)。單獨(dú)的某種處理過(guò)程或幾種處理過(guò)程綜合作用可賦予等離子體不同的用途。例如，在等離子體中，利用等離子體的化學(xué)合成作用產(chǎn)生新的化學(xué)藥品，或利用粒子的聚合作用在表面沉積形成薄膜等。
